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微流体控制系统文献资料
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基于MEMS的微型泵技术研究
基于硅微结构的微流体控制系统--微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子、航空等领域.综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术中存在的一些问题,以及提出了尝试解决的办法.
关键词： 微机电系统(MEMS) 微流体控制系统 微型泵
