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RF等离子体文献资料
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等离子体预处理对316L不锈钢-EVAL界面结合强度的影响
研究了Ar、N2及Ar+N2等离子体预处理对316L不锈钢与其表面EVAL涂层之间结合强度的影响.采用全反射FTIR、AFM测试研究了等离子体预处理前后316L不锈钢表面物化状态的变化;利用X-光电子能谱研究了316L不锈钢与EVAL涂层之间的界面反应.研究结果表明:Ar、N2及Ar+N2等离子体预处理后,316L不锈钢与EVAL涂层之间的结合强度分别高达0.92MPa、1.2MPa、1.5MPa(未经处理的试样为0.15MPa).全反射FTIR和AFM分析结果表明Ar、N2等离子体均对基体表面有较好的清洗作用,Ar等离子体对基体表面具有较强的轰击、刻蚀作用.XPS测试表明EVAL在经Ar等离子体处理的基体表面仅以物理吸附状态存在,推测与N2等离子体处理的基体之间形成了metal-N-O形式的氢键结合.
