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电子束物理气相沉积文献资料
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纳米陶瓷涂层托槽的研制
目的:研制纳米陶瓷涂层托槽,并对托槽涂层结构表面性能进行初步研究.方法:合成尺度均一的具有光化学活性的锐钛矿型纳米态二氧化钛靶材,采用电子束物理气相沉积技术在国产金属直丝托槽表面沉积纳米二氧化钛薄膜.使用X射线衍射法和电镜观察涂层的表面性状.结果:研制生产出纳米二氧化钛陶瓷涂层托槽,托槽表面沉积二氧化钛薄膜厚度约5～8 μm.二氧化钛晶粒尺寸均一,分布均匀,表面光洁度高.结论:托槽表面纳米二氧化钛镀膜对托槽槽沟尺寸几乎无影响,且具有良好表面性状及光化学活性,可以满足口腔正畸临床需要.
